Daşky gurşawy goramaga, esasanam dumanly howanyň artmagy bilen, barha köp üns berilýär. Arassa otag inženerçiligi daşky gurşawy goramak çäreleriniň biridir. Daşky gurşawy goramakda gowy iş alyp barmak üçin arassa otag inženerçiligini nähili ulanmaly? Geliň, arassa otag inženerçiligindäki gözegçilik barada gürleşeliň.
Arassa otagda temperatura we çyglylyk gözegçiligi
Arassa giňişlikleriň temperaturasy we çyglylygy, esasan, proses talaplaryna esaslanyp kesgitlenýär, ýöne proses talaplaryna laýyk gelende, adamyň rahatlygy göz öňünde tutulmalydyr. Howanyň arassalygy talaplarynyň gowulanmagy bilen, prosesde temperatura we çyglylyk üçin has berk talaplar ýüze çykýar.
Umumy ýörelge hökmünde, gaýtadan işlemegiň takyklygynyň artmagy sebäpli, temperatura üýtgemeleriniň aralygyna bolan talaplar barha kiçelýär. Mysal üçin, uly göwrümli integral mikrosxemalaryň önümçiliginiň litografiýa we ekspozisiýa prosesinde, maska materiallary hökmünde ulanylýan aýna we kremniý plitalarynyň arasyndaky termal giňelme koeffisiýentindäki tapawut barha kiçelýär.
Diametri 100 μm bolan kremniý plastinkasy temperatura 1 gradus ýokarlananda 0,24 μm çyzykly giňelme döredýär. Şonuň üçin ± 0,1 ℃ hemişelik temperatura zerurdyr we çyglylyk derejesi, adatça, pes bolýar, sebäbi terländen soň önüm hapalanar, esasanam natriýden gorkýan ýarymgeçiriji sehlerinde. Bu görnüşli seh 25 ℃-den geçmeli däl.
Aşa çyglylyk has köp kynçylyklary döredýär. Otnositel çyglylyk 55% -den geçende, sowadyjy suw turbasynyň diwarynda kondensasiýa emele geler. Eger ol takyk enjamlarda ýa-da zynjyrlarda ýüze çyksa, dürli heläkçiliklere sebäp bolup biler. Otnositel çyglylyk 50% bolanda, poslamak aňsat. Mundan başga-da, çyglylyk gaty ýokary bolanda, kremniý plastinkasynyň ýüzüne ýapyşan tozan howadaky suw molekulalary arkaly ýüzüne himiki taýdan siňip gider, ony aýyrmak kyn.
Nisbi çyglylyk näçe ýokary bolsa, ýelmeşmäni aýyrmak şonça kyn bolýar. Şeýle-de bolsa, nisbi çyglylyk 30% -den aşak bolanda, elektrostatik güýjüň täsiri sebäpli bölejikler hem ýüzüne aňsatlyk bilen siňýär we köp sanly ýarymgeçiriji enjamlar döwülmäge meýilli bolýar. Kremniý lavaşlaryny öndürmek üçin optimal temperatura aralygy 35-45% -dir.
Howa basyşygözegçilikarassa otagda
Köp arassa giňişlikler üçin daşarky hapaçylygyň aralaşmagynyň öňüni almak üçin içki basyşy (statik basyş) daşarky basyşdan (statik basyş) ýokary saklamak zerurdyr. Basyş tapawudyny saklamak, adatça, aşakdaky ýörelgelere laýyk gelmelidir:
1. Arassa jaýlardaky basyş arassa däl jaýlardaky basyşdan ýokary bolmaly.
2. Arassalyk derejesi ýokary bolan jaýlardaky basyş arassalyk derejesi pes bolan goňşy jaýlardaky basyşdan ýokary bolmaly.
3. Arassa otaglaryň arasyndaky gapylar arassaçylyk derejesi ýokary bolan otaglara tarap açylmaly.
Basyş tapawudynyň saklanmagy arassa howanyň mukdaryna baglydyr, ol bolsa bu basyş tapawudynyň aşagyndaky boşlukdan howanyň syzmagynyň öwezini dolmaly. Şeýlelik bilen, basyş tapawudynyň fiziki manysy arassa otagdaky dürli boşluklardan howanyň syzmagynyň (ýa-da infiltrasiýasynyň) garşylygydyr.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 21-nji iýuly