IC önümçilik pudagynda çip öndürijiliginiň derejesi, çipde goýlan howa bölejikleriniň göwrümi we sany bilen ýakyndan baglanyşyklydyr. Gowy howa akymy guramasy, arassa otagyň arassalygyny üpjün etmek üçin tozan çeşmesinden emele gelen bölejikleri arassa otagdan alyp biler, ýagny arassa otagdaky howa akymy guramasy IC önümçiliginiň hasyllylygynda möhüm rol oýnaýar. Arassa otagda howa akymy guramasynyň dizaýny aşakdaky maksatlara ýetmeli: zyýanly bölejikleriň saklanmazlygy üçin akym meýdanyndaky tok akymyny azaltmak ýa-da ýok etmek; haç hapalanmagynyň öňüni almak üçin degişli oňyn basyş gradiýentini saklaň.
Howa akymynyň güýji
Arassa otag ýörelgesine görä, bölejikleriň üstünde hereket edýän güýçlere köpçülik güýji, molekulýar güýç, bölejikleriň arasyndaky çekiş, howa akymynyň güýji we ş.m. girýär.
Howa akymynyň güýji: bölejikleri götermek üçin belli bir akym tizligi bilen gowşuryş, gaýdyp gelýän howa akymy, termiki konweksiýa howa akymy, emeli garyş we beýleki howa akymlary sebäpli ýüze çykýan howa akymynyň güýjüne degişlidir. Arassa otag gurşawyna tehniki gözegçilik etmek üçin howa akymynyň güýji iň möhüm faktor.
Synaglar howa akymynyň hereketinde bölejikleriň howa akymynyň hereketini şol bir tizlikde yzarlaýandygyny görkezdi. Howadaky bölejikleriň ýagdaýy howa akymynyň paýlanyşy bilen kesgitlenýär. Içerki bölejiklere täsir edýän howa akymlary, esasan, aşakdakylary öz içine alýar: howa üpjünçiligi howa akymy (esasy howa akymy we ikinji derejeli howa akymyny goşmak bilen), ýöreýän adamlar sebäpli ýüze çykýan howa akymy we ýylylyk konweksiýa howa akymy, we amal amallary we önümçilik enjamlary sebäpli ýüze çykýan howa akymy. Howa üpjünçiliginiň dürli usullary, tizlik interfeýsleri, operatorlar we önümçilik enjamlary we arassa otaglarda ýüze çykan hadysalar, arassaçylyk derejesine täsir edýän faktorlar.
Howa akymynyň guramasyna täsir edýän faktorlar
1. Howa üpjünçiligi usulynyň täsiri
(1). Howa üpjünçiliginiň tizligi
Howanyň birmeňzeş akymyny üpjün etmek üçin howa üpjünçiliginiň tizligi bir taraplaýyn arassa otagda birmeňzeş bolmaly; howa üpjünçiliginiň üstki zolagy kiçi bolmaly; we ULPA-daky basyşyň peselmegi hem birmeňzeş bolmaly.
Howa üpjünçiliginiň bitewi tizligi: ýagny howa akymynyň deňsizligi ± 20% -e gözegçilik edilýär.
Howa üpjünçiliginiň üstünde az ölen zona: diňe bir ULPA çarçuwasynyň tekiz meýdany azalmaly däl, has möhümi, artykmaç çarçuwany ýönekeýleşdirmek üçin modully FFU kabul edilmelidir.
Wertikal bir taraplaýyn howa akymyny üpjün etmek üçin süzgüçdäki basyşyň peselmegi hem süzgüçdäki basyş ýitgisiniň sowulyp bilmezligini talap edýär.
(2). FFU ulgamy bilen eksenel akym fan ulgamynyň arasyndaky deňeşdirme
FFU janköýer we süzgüçli (ULPA) howa üpjünçiligi bölümi. Howa FFU-nyň merkezden gaçyryş fanaty tarapyndan sorulandan soň, dinamiki basyş howa kanalynyň statiki basyşyna öwrülýär we ULPA tarapyndan deň derejede partlaýar. Şiftdäki howa üpjünçiliginiň basyşy negatiw basyşdyr, şonuň üçin süzgüç çalşylanda arassa otaga tozan çykmaz. Synaglar, FFU ulgamynyň howa rozetkasynyň birmeňzeşligi, howa akymynyň parallelligi we howa çalşygynyň netijeliligi görkezijisi boýunça eksenel akym fan ulgamyndan has ýokarydygyny görkezdi. Sebäbi FFU ulgamynyň howa akymynyň parallelligi has gowudyr. FFU ulgamynyň ulanylmagy arassa otagdaky howa akymyny has tertipli edip biler.
(3). FFU-nyň öz gurluşynyň täsiri
FFU esasan janköýerlerden, süzgüçlerden, howa akymyna ýol görkeziji enjamlardan we beýleki böleklerden durýar. Ultra ýokary netijelilik süzgüji ULPA, arassa otagyň dizaýnyň zerur arassalygyna ýetip biljekdigi üçin iň möhüm kepillikdir. Süzgüçiň materialy akym meýdanynyň birmeňzeşligine hem täsir eder. Süzgüç rozetkasyna gödek süzgüç materialy ýa-da laminar akym plastinkasy goşulanda, çykyş akymynyň meýdany birmeňzeş bolup biler.
2. Arassaçylygyň dürli tizlikli interfeýsleriniň täsiri
Şol bir arassa otagda, ULPA rozetkasyndaky howa tizliginiň tapawudy sebäpli, iş meýdany bilen dik bir taraplaýyn akymyň işlemeýän ýeriniň arasynda interfeýsde garyşyk worteks effekti dörediler we bu interfeýs aýratyn ýokary howa turbulentligi intensiwligi bilen turbulent howa akymy zonasyna öwrüler. Bölejikler enjamyň ýüzüne geçip, enjamlary we wafli hapalap biler.
3. Işgärleriň we enjamlaryň täsiri
Arassa otag boş bolanda, otagdaky howa akymynyň aýratynlyklary dizaýn talaplaryna laýyk gelýär. Enjamlar arassa otaga girenden soň, işgärler hereket edýärler we önümler iberilenden soň howa akymynyň guralyşyna hökmany suratda päsgelçilikler bolar. Mysal üçin, enjamyň uzalýan burçlarynda ýa-da gyralarynda gaz turbulent zona öwrüler we zonadaky suwuklyk gaz tarapyndan aňsatlyk bilen daşalmaýar we şeýlelik bilen hapalanmaga sebäp bolýar. Şol bir wagtyň özünde, üznüksiz işlemek sebäpli enjamyň üstü gyzar we temperatura gradienti enjamyň golaýynda şöhlelendiriji zona sebäp bolar, bu şöhlelendiriji zonada bölejikleriň ýygnanmagyny artdyrar. Şol bir wagtyň özünde ýokary temperatura bölejikleriň aňsatlyk bilen gaçmagyna sebäp bolar. Goşa täsir, umumy dik laminar arassalygyny dolandyrmagyň kynlygyny hasam kynlaşdyrýar. Arassa otagdaky operatorlaryň tozany, bu şöhlelendiriji zolaklardaky waflere ýapyşmak gaty aňsat.
4. Yza gaýdýan howa polunyň täsiri
Haçan-da poldan geçýän howanyň garşylygy başga bolsa, basyş tapawudy dörediler, şonuň üçin howa az garşylyk ugruna akar we birmeňzeş howa akymy alynmaz. Häzirki meşhur dizaýn usuly beýik pollary ulanmakdyr. Belent pollaryň açylyş tizligi 10% bolanda, otagyň iş beýikligindäki howa akymynyň tizligi deň paýlanyp bilner. Mundan başga-da, poluň hapalanma çeşmesini azaltmak üçin arassalaýyş işlerine berk üns berilmelidir.
5. Induksiýa hadysasy
Induksiýa hadysasy diýilýän zat, birmeňzeş akymyň ters tarapyndaky howa akymynyň emele gelmegine we otagda emele gelen tozan ýa-da ýanaşyk hapalanan ýerdäki tozan ýokary tarapa çekilýär, tozan çipi hapalap biler. Aşakdaky induksiýa hadysalary:
(1). Kör tabak
Wertikal bir taraplaýyn akymly arassa otagda, diwardaky bogunlar sebäpli, adatça ýerli gaýdyp geliş akymynda turbulentlik döredýän uly kör plitalar bar.
(2). Çyralar
Arassa otagdaky yşyklandyryş enjamlary has uly täsir eder. Floresan lampalaryň ýylylygy howa akymynyň ýokarlanmagyna sebäp bolany üçin, floresan lampalaryň aşagynda turbulent ýer bolmaz. Adatça, arassa otagdaky lampalar göz ýaşardyjy görnüşde, lampalaryň howa akymynyň guramasyna edýän täsirini azaltmak üçin niýetlenendir.
(3.) Diwarlaryň arasyndaky boşluklar
Dürli arassaçylyk derejesi bolan bölekleriň arasynda ýa-da bölekler bilen potoloklaryň arasynda boşluklar bar bolsa, arassaçylyk talaplary pes bolan toprak ýokary arassaçylyk talaplary bilen goňşy meýdana geçirilip bilner.
(4). Maşyn bilen pol ýa-da diwar aralygy
Maşyn bilen poluň ýa-da diwaryň arasyndaky boşluk gaty az bolsa, gaýtadan turbulentlige sebäp bolar. Şonuň üçin enjam bilen diwaryň arasynda boşluk goýuň we enjamyň ýere göni degmegine ýol bermezlik üçin enjamy galdyryň.
Iş wagty: Fewral-05-2025