IC önümçilik senagatynda çipleriň çykaryş tizligi çipde ýerleşdirilen howa bölejikleriniň ululygy we sany bilen berk baglanyşyklydyr. Howa akymynyň gowy guralmagy arassa otagyň arassalygyny üpjün etmek üçin tozan çeşmesinden dörän bölejikleri arassa otagdan alyp biler, ýagny arassa otagdaky howa akymynyň guralmagy IC önümçiliginiň çykaryş tizliginde möhüm rol oýnaýar. Arassa otagdaky howa akymynyň guralyşynyň dizaýny aşakdaky maksatlara ýetmeli: zyýanly bölejikleriň saklanmagynyň öňüni almak üçin akym meýdanyndaky burulga akymyny azaltmak ýa-da ýok etmek; özara hapalanmagyň öňüni almak üçin degişli oňyn basyş gradientini saklamak.
Howa akymynyň güýji
Arassa otag prinsipine görä, bölejiklere täsir edýän güýçlere massa güýji, molekulýar güýç, bölejikleriň arasyndaky çekiş güýji, howa akymy güýji we ş.m. girýär.
Howa akymynyň güýji: bölejikleri daşamak üçin belli bir akym tizligi bolan eltme, yzyna gaýtma howa akymy, termal konweksiýa howa akymy, emeli garyşdyrma we beýleki howa akymlary sebäpli howa akymynyň güýjüni aňladýar. Arassa otag gurşawynyň tehniki gözegçiligi üçin howa akymynyň güýji iň möhüm faktordyr.
Tejribeler howa akymynyň hereketinde bölejikleriň howa akymynyň hereketine diýen ýaly birmeňzeş tizlikde eýerýändigini görkezdi. Howadaky bölejikleriň ýagdaýy howa akymynyň paýlanyşy bilen kesgitlenýär. Öýdäki bölejiklere täsir edýän howa akymlaryna esasan aşakdakylar girýär: howa üpjünçilik howa akymy (esasy howa akymyny we ikinji derejeli howa akymyny goşmak bilen), adamlaryň ýöremegi sebäpli howa akymy we termal konweksiýa howa akymy, şeýle hem proses operasiýalary we senagat enjamlary sebäpli howa akymy. Dürli howa üpjünçilik usullary, tizlik interfeýsleri, operatorlar we senagat enjamlary, şeýle hem arassa otaglardaky sebäp bolan hadysalar arassaçylyk derejesine täsir edýän faktorlardyr.
Howa akymynyň guralyşyna täsir edýän faktorlar
1. Howa üpjünçiliginiň usulynyň täsiri
(1). Howa üpjünçiliginiň tizligi
Howanyň deň akymyny üpjün etmek üçin, bir ugurly arassa otagda howanyň üpjünçilik tizligi deň bolmaly; howanyň üpjünçilik ýüzüniň ölü zolagy kiçi bolmaly; şeýle hem ULPA-daky basyş düşüşi hem deň bolmaly.
Howanyň deň derejede berilmeginiň tizligi: ýagny howa akymynyň deňsizligi ±20% aralygynda gözegçilik edilýär.
Howa üpjünçilik ýüzünde öli zonanyň azalmagy: diňe bir ULPA çarçuwasynyň tekizlik meýdanyny azaltmak bilen çäklenmän, eýsem has möhümi, artykmaç çarçuwany ýönekeýleşdirmek üçin modulýar FFU kabul edilmelidir.
Howanyň dik bir ugurly akymyny üpjün etmek üçin, süzgüçiň basyş düşüşini saýlamak hem örän möhümdir, sebäbi süzgüçdäki basyş ýitgisiniň üýtgemejekdigini talap edýär.
(2). FFU ulgamy bilen ok boýunça akymly wentylýator ulgamynyň deňeşdirmesi
FFU wentylýatorly we süzgüçli (ULPA) howa üpjünçilik enjamydyr. FFU-nyň merkezden gaçyryjy wentylýatory tarapyndan howa sorulyp alnandan soň, dinamiki basyş howa geçirijisindäki statik basyşa öwrülýär we ULPA tarapyndan deň derejede üflenýär. Potolokdaky howa üpjünçilik basyşy negatiw basyşdyr, şonuň üçin süzgüç çalşylanda arassa otaga tozan syzmaz. Tejribeler FFU ulgamynyň howa çykyşynyň deňligi, howa akymynyň parallelligi we wentylýasiýa netijeliligi indeksi babatda ok akymly wentylýator ulgamyndan has gowydygyny görkezdi. Sebäbi FFU ulgamynyň howa akymynyň parallelligi has gowy. FFU ulgamyny ulanmak arassa otagdaky howa akymyny has gowy tertipleşdirip biler.
(3). FFU-nyň öz gurluşynyň täsiri
FFU esasan wentylýatorlardan, süzgüçlerden, howa akymyny gönükdiriji enjamlardan we beýleki böleklerden ybarat. Ultra ýokary netijeli süzgüç ULPA arassa otagyň dizaýnda zerur arassalyga ýetip biljekdiginiň iň möhüm kepilidir. Süzgüçiň materialy hem akym meýdanynyň deňligine täsir eder. Süzgüçiň çykyşyna gödek süzgüç materialy ýa-da laminar akym plastinkasy goşulanda, çykyş akym meýdanyny aňsatlyk bilen deňleşdirip bolýar.
2. Arassaçylygyň dürli tizlikli interfeýsleriniň täsiri
Şol bir arassa otagda, ULPA çykyşyndaky howa tizliginiň tapawudy sebäpli, iş meýdany bilen işlemeýän ýeriň arasynda, serhetde garyşyk girdap täsiri döreýär we bu serhet howa turbulentliginiň aýratyn ýokary intensiwligi bilen turbulent howa akymynyň zolagyna öwrülýär. Bölejikler enjamyň ýüzüne geçip, enjamlary we plastinalary hapalap biler.
3. Işgärleriň we enjamlaryň täsiri
Arassa otag boş wagty, otagdaky howa akymynyň häsiýetnamalary, umuman, dizaýn talaplaryna laýyk gelýär. Enjamlar arassa otaga girenden, işgärler hereket edenden we önümler geçirilenden soň, howa akymynyň guralyşyna hökman päsgelçilikler döreýär. Mysal üçin, enjamyň çykyp duran burçlarynda ýa-da gyralarynda gaz turbulent zona emele getirmek üçin gönükdiriler we zonadaky suwuklyk gaz tarapyndan aňsatlyk bilen daşalyp gitmeýär, şonuň üçin hapalanma ýüze çykýar. Şol bir wagtyň özünde, enjamyň ýüzi üznüksiz işlemek sebäpli gyzar we temperatura gradienti maşynyň golaýynda gaýtadan akym zolagyny döreder, bu bolsa gaýtadan akym zolagynda bölejikleriň toplanmagyny artdyrar. Şol bir wagtyň özünde, ýokary temperatura bölejikleriň aňsatlyk bilen çykmagyna sebäp bolar. Goşa täsir umumy dik laminar arassaçylygy gözegçilikde saklamagyň kynçylygyny has-da güýçlendirýär. Arassa otagdaky operatorlardan çykýan tozan bu gaýtadan akym zolaklaryndaky waferlere ýapyşmagy örän aňsat.
4. Gaýdyp gelýän howa polunyň täsiri
Poldan geçýän gaýtýan howanyň garşylygy tapawutly bolanda, basyş tapawudy döreýär, şonuň üçin howa az garşylyk ugry boýunça akýar we deň howa akymy gazanylmaz. Häzirki meşhur dizaýn usuly beýik pollary ulanmakdyr. Beýik pollaryň açylyş tizligi 10% bolanda, otagyň işçi beýikligindäki howa akymynyň tizligi deň paýlanyp bilner. Mundan başga-da, poluň hapalanma çeşmesini azaltmak üçin arassalaýyş işlerine berk üns berilmelidir.
5. Induksiýa hadysasy
Induksiýa hadysasy diýilýän hadysa, deň derejeli akymyň ters ugry boýunça howa akymynyň döremegi we otagda ýa-da golaýdaky hapalanan ýerde emele gelen tozanyň ýeliň garşy tarapyna induksiýa edilmegi, şonuň üçin tozanyň çipi hapalap bilmegi hadysasyny aňladýar. Mümkin bolan induksiýa hadysalary aşakdakylardyr:
(1). Ýalňyş plastinka
Dik bir ugurly akymy bolan arassa otagda, diwardaky birleşmeler sebäpli, adatça, ýerli yzyna gaýdýan akymda turbulentlik döredýän uly kör plitalar bolýar.
(2). Çyralar
Arassa otagdaky yşyklandyryş enjamlary has uly täsir eder. Floresan lampalaryň ýylylygy howa akymynyň ýokarlanmagyna sebäp bolýandygy sebäpli, floresan lampalaryň aşagynda turbulent ýer bolmaz. Umuman, arassa otagdaky lampalar lampalaryň howa akymynyň guralyşyna täsirini azaltmak üçin damja görnüşinde dizaýn edilýär.
(3.) Diwarlaryň arasyndaky boşluklar
Dürli arassaçylyk derejeleri bolan diwarlaryň arasynda ýa-da diwarlaryň we potoloklaryň arasynda boşluklar bolanda, arassaçylyk talaplary pes bolan ýerdäki tozan arassaçylyk talaplary ýokary bolan goňşy ýerlere geçip biler.
(4). Maşyn bilen pol ýa-da diwar arasyndaky aralyk
Eger enjam bilen pol ýa-da diwaryň arasyndaky boşluk örän kiçi bolsa, ol gaýtawul turbulentligine sebäp bolar. Şonuň üçin enjam bilen diwaryň arasynda boşluk galdyryň we enjamyň ýere gönüden-göni degmeginiň öňüni almak üçin ony galdyryň.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 5-nji fewraly