IC önümçilik pudagyna barylmagyň bahasy, çip döwründe goýlan howa böünsülleriniň sany we sany bilen ýakyn baglanyşyklydyr. Gowy uçary guramanyň gowy uçary guramasynyň arassa otagdan uzaklaşdyrýan bölejikleri arassalap biler, ýagny arassalaýjy otagdaky howa menzili arassalaýjy otlaryň araçäk çeşmesinden emele getirýän bölejikleri alyp biler, ýagny arassa otagdaky howa ýasaýjy guramasy, arassa otagyň iň ýyldaky roluny oýlanmakdyr. Arassa otagyndaky howa menziliniň dizaýny aşakdaky maksatlara ýetmeli: Zyýanly bölejiklerden ýüz öwürmek üçin akym meýdanynda bahaly basmagy azaltmak ýa-da aradan çykaryň; Hapanyň hapalanmagynyň öňüni almak üçin degişli oňyn basyş gradiýasyny saklaň.
Howa güýçleriniň güýji
According to the clean room principle, the forces acting on the particles include mass force, molecular force, attraction between particles, airflow force, etc.
Airflow force: refers to the force of the airflow caused by the delivery, return airflow, thermal convection airflow, artificial stirring, and other airflows with a certain flow rate to carry the particles. Arassa otagyň daşky gurşawy tehniki gözegçiligi üçin, uçarman güýçleriniň iň möhüm faktorydyr.
Synaglar Uçakyň hereketinde bölejikler, bölejikler şol bir tiz ýaly futbolka getirilen howa hereketine eýerdiler. Howadaky bölejikleriň ýagdaýy howa akymynyň paýlanyşy tarapyndan kesgitlenýär. Oýnurra bölejiklere esasan öz içine alýan uçarlar: Howa üpjünçiligi howa akymy (esasy howa şertleri we orta howa araçy), ýöreýän howa lenty we termiki konweksiýa (setrflow we ýylylyk konernasiýasy), pleýeri goşmak bilen howa çalşygy we ýylylyk konweksiýa (setrflow we ýylylyk konernasiýasy), akýan howa şertleri we orta howa aralaşmagy we terbiýe beriji howa üpjünçiligi, amallar bilen döredilen howa üpjünçiligi we senagat enjamlary sebäpli dörän howa enjamlary. Arassa otaglarda dürli howa üpjünçiligi, synag we senagatçylyk enjamlary, arassaçylyk arabalaryna täsir edýär.
Howa guramasyna täsir edýän faktorlar
1. Howa üpjünçiliginiň usulynyň täsiri
(1). Howa üpjünçiligi tizligi
Ajy howa ýasaýyş üpjünçiligini üpjün etmek, howa üpjünçiligi tizligi birmeňzeş arassa otagda howa üpjünçiligi tizligi bolmaly; Howa gatnawynyň ölüleg zolagy kiçijik bolmaly; ULPA-da basyş taşlamak hem belli bir zat bolmaly däldir.
Appliire howa üpjünçiligi tizligi: ine, howa meýdançasynyň deňsizligi ± 20% -e gözegçilik edilýär.
Howa gury ýerindäki kiçijik öküngün bu "ULPA"-iň uçarmançylygynyň uçurylyşy azalmaly, ýöne has möhümeleli bolsa, adaty çarelnigi ýönekeýleşdirmek üçin kabul edilmeli.
Dikdirilsiz ajaýyp howa şertlerini üpjün etmek üçin basyşyň basyşynyň süzgüçden ejir sowmagyny talap edýändigine garamazdan bu basyşyň basyşyny üpjün etmek gaty möhümdir.
(2). FFU ulgamynyň we akt akymynyň faniw ulgamynyň arasyndaky deňeşdirme
FFU janköýer, süzgüçli howa üpjünçiligi bölümi we süzgüç (ULPA). Howadan FFUUUU-nyň merkezden gaçyryş müdiri tarapyndan dolandyrylmagyndan soň, dinamiki statiki basyşda sinky stantiw basyşyna öwrülýär we Ulpa bilen deňleşdirilýär. Potokolda howa üpjünçiligi basyşçysy, süzgüç çalşylanda titremegiň arassa otagyna sezewar bolmaz. Synaglar FFU Ulgamynyň howa keseki birligi sebäpli howa respublikan paralçylygy nukdaýnazaryndan howluklyk şerbetýeti we howa bozulmasynyň şertleri nukdaýnazaryndan has ýokary bolandygyny görkezdi. Sebäbi FFU ulgamynyň howa meňzeşligi has gowudyr. FFU ulgamynyň ulanylyşy, arassa otagyň arassa gury oturylyşykda howa akymyny edip biler.
(3). FFU-nyň öz gurluşynyň täsiri
FFU esasan janköýerlerden, süzgüçden, süzgüçeler, howa gollanmalary we beýleki bölekleri. Ultra-ýokary netijelilik ULPA, arassa otagyň dizaýnyň zerur arassalygyna ýetip biljekdigi üçin iň möhüm kepillikdir. Süzgüçiň maddasy akym meýdanynyň birmeňzeşlygyna hem täsir eder. Carsate süzgüç materialyna maddy ýa-da süzgüç daşetine lamikanyň lamikasy tabletkasy, çykletis meýdany aňsatlyk bilen döredilip bilner.
2. Arassaçylygyň dürli tizlik önümleriniň täsiri
Şol bir arassa otagda, iş iş ýeriniň we dikligimsizlik akymynyň arasynda Ulpa Rektiň akymynda howa giňişliginiň üýtgemegi sebäpli howa giňişliginiň üýtgemegi bilen baglanyşykly garyşyk duralma täsiri, bu interfeýs turbulut bolar beýik ýokary howa bulaşyklygy bolan howa akym zolagy intaşanlygy. Bölejler enjamlaryň üstüne iberilip bilner we enjamlary we malkalary hapalanyp bilerler.
3. Işgärleriň we enjamlaryň täsiri
Arassa otagy boş bolanda, otagdaky howa akymy häsiýetleri, adatça, dizaýn talaplaryna laýyk gelýär. Enjam arassa otaga, işgärleriň hereketi we önümleri geçirilenden soň, howa akymyna päsgelçilik bolar. Mysal üçin, enjamyň başlanan burçly binalaryň ýa-da gyralarda bir gap-gaçda suwuklyk zolakly bu hapadaky suwuklyk aňsatlyk bilen amala aşyrylmaýar, şeýlelik bilen hapalanmaga kömek edýär. Şol bir wagtyň özünde enjamlaryň ýüzügi üznüksiz işlemegi sebäpli gyzdyryň göterijisi maşynyň golaýynda bölek zolagy döreder, enjamyň golaýynda bölek zolak döreder, şadyňyň golaýynda bölek zolagyň toplan derejesini ýokarlandyrjak enjamyň golaýynda birinji derejeli zonanyň emele geljekdigini. Şol bir wagtyň özünde, ýokary temperatura aňsatlyk bilen böleklere gaçmaga mümkinçilik berer. Iki sany täsir, umumy dikligine arassalanma arassalygyna gözegçilik etmekde kynçylyk çekýär. Arassa otagdaky operatorlardan tozan, bu ýer zolaklarynda şkafyň şAPT-a ýapyşmak aňsat.
4. Gaýtalama howa polunyň täsiri
Poldan geçýän howanyň geçmegi bilen gaýdyp gelýän basyşyň kynlugy başgaça, howa az garşylyk görkezme gününde akyp, jeferde howa almazy bolmaz ýaly, bu çärä basyşlydyr. Häzirki meşhur dizaýn usuly ýokary gatlary ulanmakdyr. Bellenen pollaryň açylyş nalyşygy 10% bolan bolsa, otagyň işleýän beýikligindäki howa uçlarynyň tizligi hem deň paýlanyp bilner. Mundan başga-da, bu ýeriň hapalanmagyny çäklendirmek üçin işi arassalamak üçin berk üns berilmelidir.
5. Induksiýa hadysasy
Indurduň hasaba alnan hadysasy formanyň ters akymynyň tersine uçranlygy bilen howa akymy döredýän we otagyň ýa-da ýanaşyk hapalanan ýerdäki tozan tozan, şonuň üçin tozan ýalydyr çipi hapalap biler. Aşakda induksiýa hadysasy bolup, bolup biler:
(1). Kör plastinka
Diwardaky bogunlary sebäpli arassa bir otda akyp, diwarda arassa bir derejede ýerli skroulgugy döredip biljek umuman uly kör tabaklary bar.
(2). Lampalar
Arassa otagyň iň ýokary çyrasy has uly täsir eder. Floresan lampalarynyň ýylylygy sebäpli uçuşyň ýokarlanmagyna sebäp bolany üçin, floresan lampalaryň aşagynda turbulent meýdany bolmaz. Umuman, arassa otagdaky maýyplar, lampalaryň howa gury guramasyndaky täsirini azaltmak üçin göz-peýdiki şekilde döredilýär.
(3.) diwarlaryň arasyndaky boşluklar
Dürli arassaçylyk derejeleri bilen bölümleriň arasynda boşluklar ýa-da däp-dessurlaryň we potratlar, pes arassalygy talaplary bolan meýdandan tozanlaryň arasynda tozanlaryň arasynda tozanlaryň, pes arassalygy talaplary bilen meýdança tozanlaryň ýokary arassalygyň talaplary bilen ýanaşyk ýerlere geçirilip bilner.
(4). Maşyn we pol ýa-da diwar bilen aralyk
Maşyn we poluň ýa-da diwaryň arasyndaky boşluk gaty az bolsa, gaýtadan dikeldilmegine sebäp bolar. Şonuň üçin enjam bilen diwaryň arasynda boşluk goýuň we maşyn göni göni ýere degmek üçin maşk galdyryň.
Iberiş wagty: Fewral-05-2025-nji fewral