Çip öndürmek senagatynda çipleriň önümçiligi çipde ýerleşdirilen howa bölejikleriniň ululygy we sany bilen berk baglanyşyklydyr. Howa akymynyň gowy guralmagy tozan çeşmelerinden emele gelen bölejikleri arassa otagdan alyp, arassa otagyň arassalygyny üpjün edip biler. Başgaça aýdylanda, arassa otagdaky howa akymynyň guralmagy çip önümçiliginiň önümçiliginde möhüm rol oýnaýar. Arassa otagyň howa akymynyň guralmagyny dizaýn etmekde gazanylmaly maksatlar: zyýanly bölejikleriň saklanmagynyň öňüni almak üçin akym meýdanyndaky burulga akymlaryny azaltmak ýa-da ýok etmek; özara hapalanmagyň öňüni almak üçin degişli oňyn basyş gradientini saklamak.
Arassa otag prinsipine görä, bölejiklere täsir edýän güýçlere massa güýji, molekulýar güýç, bölejikleriň arasyndaky çekiş güýji, howa akymy güýji we ş.m. girýär.
Howa akymynyň güýji: üpjünçilik we yzyna gaýtýan howa akymy, termal konweksiýa howa akymy, emeli garyşdyrma we belli bir akym tizligi bolan bölejikleri daşaýan beýleki howa akymlary sebäpli howa akymynyň güýjüni aňladýar. Arassa otagyň daşky gurşaw tehnologiýasyny dolandyrmak üçin howa akymynyň güýji iň möhüm faktordyr.
Tejribeler howa akymynyň hereketinde bölejikleriň howa akymynyň yzyndan diýen ýaly birmeňzeş tizlikde gelýändigini görkezdi. Howadaky bölejikleriň ýagdaýy howa akymynyň paýlanyşy bilen kesgitlenýär. Howa akymynyň içerki bölejiklere esasy täsirleri: howa üpjünçilik howa akymy (esasy howa akymyny we ikinji howa akymyny goşmak bilen), adamlaryň ýöremegi sebäpli howa akymy we termal konweksiýa howa akymy, şeýle hem howa akymynyň proses operasiýalary we senagat enjamlary sebäpli bölejiklere täsiri. Arassa otaglardaky dürli howa üpjünçilik usullary, tizlik interfeýsleri, operatorlar we senagat enjamlary, döreýän hadysalar we ş.m. arassaçylyk derejesine täsir edýän faktorlardyr.
1. Howa üpjünçiliginiň usulynyň täsiri
(1) Howa üpjünçiliginiň tizligi
Howanyň deň akymyny üpjün etmek üçin, bir ugurly akymly arassa otagda howanyň üpjünçilik tizligi deň bolmaly; howanyň üpjünçilik ýüzündäki ölü zolak az bolmaly; şeýle hem HEPA süzgüjiniň içindäki basyş düşüşi hem deň bolmaly.
Howanyň berilmeginiň tizligi deňdir: ýagny howa akymynyň deňsizligi ±20% aralygynda gözegçilik edilýär.
Howa üpjünçilik ýüzünde öli boşluklar azalýar: diňe bir HEPA çarçuwasynyň tekiz meýdanyny azaltmak bilen çäklenmän, eýsem has möhümi, artykmaç çarçuwany ýönekeýleşdirmek üçin modulýar FFU ulanylmaly.
Howa akymynyň dik we bir ugurly bolmagyny üpjün etmek üçin, süzgüçiň basyş düşüşini saýlamak hem örän möhümdir we süzgüçiň içindäki basyş ýitgisiniň bir taraply bolup bilmezligi talap edilýär.
(2) FFU ulgamy bilen ok akymly wentylýator ulgamynyň deňeşdirmesi
FFU wentylýatorly we HEPA süzgüji bolan howa üpjünçilik enjamydyr. Howa FFU-nyň merkezden gaçyryjy wentylýatory tarapyndan sorulýar we dinamiki basyşy howa geçirijisindäki statik basyşa öwürýär. Ol HEPA süzgüji tarapyndan deň derejede üflenýär. Potolokdaky howa üpjünçilik basyşy negatiw basyşdyr. Şeýlelikde, süzgüji çalşylanda arassa otaga tozan syzmaz. Tejribeler FFU ulgamynyň howa çykyşynyň deňligi, howa akymynyň parallelligi we wentylýasiýa netijeliligi indeksi babatda ok akymly wentylýator ulgamyndan has gowydygyny görkezdi. Sebäbi FFU ulgamynyň howa akymynyň parallelligi has gowy. FFU ulgamyny ulanmak arassa otagda howa akymynyň guralyşyny gowulandyryp biler.
(3) FFU-nyň öz gurluşynyň täsiri
FFU esasan wentylýatorlardan, süzgüçlerden, howa akymynyň ýol görkezijilerinden we beýleki böleklerden ybarat. HEPA süzgüji arassa otag üçin dizaýn tarapyndan talap edilýän arassalygy gazanmagyň iň möhüm kepilidir. Süzgüjiň materialy hem akym meýdanynyň deňligine täsir eder. Süzgüjiň çykyşyna gödek süzgüç materialy ýa-da akym plastinkasy goşulanda, çykyş akym meýdanyny aňsatlyk bilen deňleşdirip bolýar.
2. Tizlik interfeýsiniň dürli arassalyk bilen täsiri
Şol bir arassa otagda, iş zolagy bilen işlemeýän ýeriň arasynda, HEPA gutusyndaky howa tizliginiň tapawudy sebäpli, serhetde garyşyk girdap täsiri ýüze çykar we bu serhet turbulent howa akymy zolagyna öwrüler. Howa turbulentliginiň intensiwligi aýratyn güýçli we bölejikler enjam maşynynyň ýüzüne geçip, enjamlary we plastinalary hapalap biler.
3. Işgärlere we enjamlara täsiri
Arassa otag boş wagty, otagdaky howa akymynyň häsiýetnamalary, adatça, dizaýn talaplaryna laýyk gelýär. Enjamlar arassa otaga girenden, adamlar hereket edenden we önümler daşalyp başlandan soň, howa akymynyň guralyşyna päsgelçilikler döreýär, mysal üçin, enjam maşynyndan çykyp duran ýiti uçlar. Burçlarda ýa-da gyralarda gaz turbulent akym zolagyny emele getirmek üçin üýtgäp, sebitdäki suwuklyk gelýän gaz tarapyndan aňsatlyk bilen äkidilmez we şonuň bilen hapalanmaga sebäp bolar.
Şol bir wagtyň özünde, mehaniki enjamlaryň ýüzi üznüksiz işlemegiň netijesinde gyzar we temperatura gradienti maşynyň golaýynda gaýtadan akýan meýdanyň döremegine sebäp bolar, bu bolsa gaýtadan akýan meýdanda bölejikleriň toplanmagyny artdyrar. Şol bir wagtyň özünde, ýokary temperatura bölejikleriň aňsatlyk bilen çykmagyna sebäp bolar. Goşa täsir umumy dik gatlagy güýçlendirýär. Akymyň arassalygyny gözegçilikde saklamagyň kynçylygy. Arassa otagdaky operatorlaryň tozany bu gaýtadan akýan ýerlerde plastinalara aňsatlyk bilen ýapyşyp biler.
4. Gaýdyp gelýän howa polunyň täsiri
Poldan geçýän gaýtýan howanyň garşylygy tapawutly bolanda, basyş tapawudy ýüze çykyp, howanyň kiçi garşylyk ugry boýunça akmagyna sebäp bolar we deň howa akymy gazanylmaz. Häzirki meşhur dizaýn usuly beýik pol ulanmakdyr. Beýik poluň açylyş gatnaşygy 10% bolanda, howa akymynyň tizligi içerki iş beýikliginde deň paýlanyp bilner. Mundan başga-da, poldaky hapalanma çeşmesini azaltmak üçin arassalaýyş işlerine berk üns berilmelidir.
5. Induksiýa hadysasy
Induksiýa hadysasy diýilýän hadysa, birmeňzeş akyma ters ugurda howa akymyny döretmek hadysasyny aňladýar, bu bolsa otagda emele gelýän tozany ýa-da ýeliň garşy tarapyndaky golaýdaky hapalanan ýerlerde tozany döredip, tozanyň plastina hapalanmagyna sebäp bolýar. Mümkin bolan sebäp bolan hadysalara aşakdakylar girýär:
(1) Ýalňyş plastinka
Dik bir taraply akymy bolan arassa otagda, diwardaky birleşmeler sebäpli, adatça uly perde panelleri bolýar, olar turbulent akymy we ýerli yzyna akymy döreder.
(2) Çyralar
Arassa otagdaky yşyklandyryş enjamlary has uly täsir eder. Fluorescent lampanyň gyzgynlygy howa akymynyň ýokarlanmagyna sebäp bolýandygy sebäpli, fluorescent lampa turbulent ýere öwrülmez. Umuman, arassa otagdaky lampalar howa akymynyň guralyşyna lampalaryň täsirini azaltmak üçin damja görnüşinde dizaýn edilýär.
(3) Diwarlaryň arasyndaky boşluklar
Dürli arassaçylyk talaplary bolan bölüji diwarlaryň ýa-da potoloklaryň arasynda boşluklar bolanda, arassaçylyk talaplary pes bolan ýerlerden tozan arassaçylyk talaplary ýokary bolan goňşy ýerlere geçip biler.
(4) Mehaniki enjamlar bilen pol ýa-da diwar arasyndaky aralyk
Eger mehaniki enjamlar bilen pol ýa-da diwaryň arasyndaky boşluk kiçi bolsa, gaýtlama turbulentligi ýüze çykar. Şonuň üçin enjamlar bilen diwaryň arasynda boşluk galdyryň we ýere gönüden-göni degmeginiň öňüni almak üçin enjamyň platformasyny galdyryň.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 2-nji noýabry