Çip öndürmek pudagynda çip öndürijiligi, çipde goýlan howa bölejikleriniň göwrümi we sany bilen ýakyndan baglanyşyklydyr.Howa akymynyň gowy guramasy tozan çeşmelerinden emele gelen bölejikleri arassa otagdan uzaklaşdyryp, arassa otagyň arassalygyny üpjün edip biler.Cleanagny, arassa otagdaky howa akymy guramasy çip öndürmekde möhüm rol oýnaýar.Arassa otagyň howa akymyny guramagyň dizaýnynda ýetilmeli maksatlar: zyýanly bölejikleriň saklanmazlygy üçin akym meýdanyndaky çygly toklary azaltmak ýa-da ýok etmek;hapalanmagynyň öňüni almak üçin degişli polo positiveitel basyş gradiýentini saklamak.
Arassa otag ýörelgesine görä bölejikleriň üstünde hereket edýän güýçlere köpçülik güýji, molekulýar güýç, bölejikleriň arasyndaky çekiş, howa akymynyň güýji we ş.m. girýär.
Howa akymynyň güýji: üpjünçilik we gaýdyp gelýän howa akymy, ýylylyk konweksiýa howa akymy, emeli agitasiýa we bölejikleri götermek üçin belli bir akym tizligi bilen ýüze çykýan howa akymynyň güýjüni aňladýar.Arassa otagyň daşky gurşaw tehnologiýasyna gözegçilik etmek üçin howa akymynyň güýji iň möhüm faktor.
Synaglar howa akymynyň hereketinde bölejikleriň howa akymynyň takmynan şol bir tizlikde yzarlaýandygyny görkezdi.Howadaky bölejikleriň ýagdaýy howa akymynyň paýlanyşy bilen kesgitlenýär.Howa akymynyň ýapyk bölejiklere edýän esasy täsirleri: howa üpjünçiligi howa akymy (esasy howa akymy we ikinji derejeli howa akymyny goşmak bilen), ýöreýän adamlar tarapyndan döreýän howa akymy we ýylylyk konweksiýa howa akymy we howa amallarynyň amal amallary we önümçilik enjamlary sebäpli bölejiklere täsiri.Arassa otaglarda howa üpjünçiliginiň dürli usullary, tizlik interfeýsleri, operatorlar we önümçilik enjamlary, öjükdirilen hadysalar we ş.m. arassaçylyk derejesine täsir edýän faktorlar.
1. Howa üpjünçiligi usulynyň täsiri
(1) Howa üpjünçiliginiň tizligi
Howanyň birmeňzeş akymyny üpjün etmek üçin bir taraplaýyn akym arassa otagdaky howa üpjünçiliginiň tizligi birmeňzeş bolmaly;howa üpjünçiliginiň üstündäki öli zona kiçi bolmaly;we hepa süzgüçindäki basyşyň peselmegi hem birmeňzeş bolmaly.
Howa üpjünçiliginiň tizligi birmeňzeş: ýagny howa akymynyň deňsizligi ± 20% -e gözegçilik edilýär.
Howa üpjünçiliginiň üstünde az ölen ýer bar: diňe bir hepa çarçuwasynyň tekiz meýdany azalmaly däl, has möhümi, artykmaç çarçuwany ýönekeýleşdirmek üçin modully FFU ulanylmaly.
Howa akymynyň dik we bir taraplaýyn bolmagyny üpjün etmek üçin süzgüçiň basyşyň peselmegi hem möhümdir we süzgüçdäki basyş ýitgisiniň ikitaraplaýyn bolmazlygy talap edilýär.
(2) FFU ulgamy bilen eksenel akym fan ulgamynyň arasyndaky deňeşdirme
FFU fan we hepa süzgüçli howa üpjünçiligi bölümi.Howa FFU-nyň merkezden gaçyryş fanaty tarapyndan sorulýar we dinamiki basyşy howa kanalynyň statiki basyşyna öwürýär.Gepa süzgüji bilen deň derejede partlaýar.Şiftdäki howa üpjünçiliginiň basyşy otrisatel basyşdyr.Şeýlelik bilen süzgüç çalşylanda arassa otaga tozan syzmaz.Synaglar, FFU ulgamynyň howa rozetkasynyň birmeňzeşligi, howa akymynyň parallelligi we howa çalşygynyň netijeliligi görkezijisi boýunça eksenel akym fan ulgamyndan has ýokarydygyny görkezdi.Sebäbi FFU ulgamynyň howa akymynyň parallelligi has gowudyr.FFU ulgamynyň ulanylmagy arassa otagda howa akymynyň guramasyny gowulaşdyryp biler.
(3) FFU-nyň öz gurluşynyň täsiri
FFU esasan janköýerlerden, süzgüçlerden, howa akym gollanmalaryndan we beýleki böleklerden durýar.Gepa süzgüji, dizaýn üçin zerur arassalygy gazanmak üçin arassa otag üçin iň möhüm kepillikdir.Süzgüçiň materialy akym meýdanynyň birmeňzeşligine hem täsir eder.Süzgüç rozetkasyna gödek süzgüç materialy ýa-da akym plastinkasy goşulanda, çykyş akymynyň meýdany birmeňzeş bolup biler.
2. Dürli arassalyk bilen tizlik interfeýsiniň täsiri
Şol bir arassa otagda, iş meýdany bilen dik bir taraplaýyn akymly işlemeýän ýeriň arasynda, hepa gutusynda howanyň tizliginiň tapawudy sebäpli interfeýsde garyşyk worteks täsiri ýüze çykar we bu interfeýs turbulent bolar. howa akymy zolagy.Howanyň turbulentliginiň intensiwligi aýratyn güýçlidir we bölejikler enjam maşynynyň ýüzüne geçip, enjamlary we wafli hapalap biler.
3. Işgärlere we enjamlara täsiri
Arassa otag boş bolanda, otagdaky howa akymynyň aýratynlyklary dizaýn talaplaryna laýyk gelýär.Enjamlar arassa otaga girenden soň, adamlar hereket edýärler we önümler daşalsa, enjam enjamyndan çykýan ýiti nokatlar ýaly howa akymy guramasyna gutulgysyz päsgelçilikler bolýar.Burçlarda ýa-da gyralarda gaz turbulent akym meýdanyny emele getirer we bu ýerdäki suwuklyk gelýän gaz bilen aňsatlyk bilen daşalmaz we şeýlelik bilen hapalanmaga sebäp bolar.
Şol bir wagtyň özünde, mehaniki enjamlaryň üstü üznüksiz işlemek sebäpli gyzdyrylar we temperatura gradienti enjamyň golaýynda şöhlelenme meýdanyna sebäp bolar, bu bolsa şöhlelenýän ýerdäki bölejikleriň ýygnanmagyny artdyrar.Şol bir wagtyň özünde ýokary temperatura bölejikleriň aňsatlyk bilen gaçmagyna sebäp bolar.Goşa täsir umumy dik gatlagy güýçlendirýär.Akymyň arassalygyna gözegçilik etmegiň kynlygy.Arassa otagdaky operatorlaryň tozany, bu şöhlelenýän ýerlerde wafli aňsatlyk bilen ýapyşyp biler.
4. Yza gaýdýan howa polunyň täsiri
Poldan geçýän gaýdyp gelýän howanyň garşylygy başgaça bolanda, basyş tapawudy ýüze çykar, howanyň kiçi garşylyk ugruna akmagyna sebäp bolar we birmeňzeş howa akymy alynmaz.Häzirki meşhur dizaýn usuly beýik poly ulanmakdyr.Belent gatyň açylyş gatnaşygy 10% bolanda, howa akymynyň tizligi ýapyk iş beýikliginde deň paýlanyp bilner.Mundan başga-da, poluň hapalanmagynyň çeşmesini azaltmak üçin arassalaýyş işlerine berk üns berilmelidir.
5. Induksiýa hadysasy
Induksiýa hadysasy diýilýän zat, ters tarapa birmeňzeş akymyň howa akymyny emele getirmek, otagda emele gelen tozany ýa-da ýanaşyk hapalanan ýerlerde tozany ýokary tarapa öwürmek, şeýlelik bilen tozanyň wafli hapalanmagyna sebäp bolýar.Mümkin bolup biljek hadysalar aşakdakylary öz içine alýar:
(1) Kör tabak
Wertikal bir taraplaýyn akymly arassa otagda, diwardaky bogunlar sebäpli, adatça turbulent akym we ýerli akym döreder ýaly uly kör paneller bar.
(2) Çyralar
Arassa otagda yşyklandyryş enjamlary has uly täsir eder.Floresan lampanyň ýylylygy howa akymynyň ýokarlanmagyna sebäp bolany üçin, floresan çyra turbulent ýere öwrülmez.Adatça, arassa otagdaky lampalar göz ýaşardyjy görnüşde, lampalaryň howa akymynyň guramasyna edýän täsirini azaltmak üçin niýetlenendir.
(3) Diwarlaryň arasyndaky boşluklar
Bölüm diwarlarynyň ýa-da dürli arassaçylyk talaplary bolan potoloklaryň arasynda boşluklar bar bolsa, arassaçylyk talaplary pes bolan ýerlerden tozan ýokary arassaçylyk talaplary bilen goňşy ýerlere geçirilip bilner.
(4) Mehaniki enjamlar bilen pol ýa-da diwar aralygy
Mehaniki enjamlar bilen poluň ýa-da diwaryň arasyndaky boşluk az bolsa, gaýtadan turbulentlik ýüze çykar.Şonuň üçin enjam bilen diwaryň arasynda boşluk goýuň we ýer bilen göni aragatnaşyk saklamazlyk üçin maşyn platformasyny galdyryň.
Iş wagty: Noýabr-02-2023